如何测量系统流量
对于臭氧过程的定量分析，不仅需要有关臭氧浓度的知识，还需要有关臭氧气体流速的信息。
气体流量测量通常由转子式流量计或热质量流量计进行。
转子流量计的校准取决于气体的性质、温度以及压力。例如，如果在 2 barabs 下使用校准为 1 bar abs 的转子流量计，则显示的流速将太低约 30%！可以通过将显示的质量流量（例如 N/min 或 Nm3/h）乘以实际压力除以校准压力的商的平方根来进行近似校正。
热式质量流量计的校准实际上仅取决于气体的性质。
由于臭氧气体的性质随其臭氧含量而变化，因此这些流量计都不能用于精确测量流量。热式质量流量计还有两个额外的缺点：其传感器元件的高温，通常约为 90℃，会导致一定程度的放热！）测量过程中臭氧破坏，其热量会干扰仪器的热测量原理。臭氧的分解（氧原子处于初生状态）现在往往会破坏热质量流量计的内部毛细管，即当臭氧气体中存在痕量氮时。
这就是为什么不能在臭氧气体中测量流量的原因。臭氧气体流量的精确测量只能在纯载气（通常是氧气或干燥空气）中间接测量，无论是在臭氧发生器之前，还是在臭氧破坏之后。
