Teledyne API SCI-552 臭氧发生器控制器介绍
SCI-552 是臭氧输送系统的系统控制器，为许多典型系统组件提供电子控制接口，包括：臭氧发生器、EV 阀、质量流量控制器、背压控制器、Teledyne API 452 臭氧传感器、Teledyne API 470 溶解臭氧传感器和冷水机组。
SCI-552 具有硬件和软件支持多种系统联锁功能。SCI-552 为更终用户提供了灵活性，允许通过前面板用户界面、MODBUS 串行接口或各种离散的数字和模拟 I/O 点控制系统。SCI-552 设计用于支持两个臭氧发生器，提供两个独立的臭氧输出通道。
特征
RS-232 MODBUS 远程支持
控制多达 2 个臭氧发生器
更多可连接 2 个 452 型和 470 型臭氧传感器
控制多达 4 个质量流量控制器
控制多达 2 个背压控制器
控制多达 2 个 EV 阀
控制冷水机组
系统联锁输入
远程系统级控制和状态 I/O
应用
化学气相沉积(CVD)
原子层沉积(ALD)
氧化物生长
表面处理
灰化
粒子清洁
光刻胶去除
其他