美国进口CAT-O3催化臭氧破坏器
CAT-O3系列臭氧破坏器能够安全地分解高浓度臭氧到远远低于推荐安全臭氧浓度的亚ppm浓度级。仪器使用金属氧化物被动催化臭氧转化为氧气。
应用
化学气相沉积(CVD) 硅酸乙酯/臭氧(TEOS/O3)
原子层沉积(ALD)
有机金属化合物化学气相沉积（MOCVD）
灰化(Ashers)
湿法处理流程(Wet Benches)
喷涂工具
参数
型号： CAT-O3-E CAT-O3-F CAT-O3-G
应用： 催化破坏臭氧
运行原理： 催化
催化剂： 二氧化锰基的化合物
出口浓度 ：<0.01 ppm (远远低于OSHA要求)
材料 ：铝和不锈钢接头
处理能力 (上限) ：20 SLPM @ 340 g/Nm3 36 SLPM @ 340 g/Nm3 88 SLPM@ 200 g/Nm3
入口/出口： ½” 不锈钢管 ½” 不锈钢管 ¾” 不锈钢管
可选其他接口
外部容器尺寸 英寸 毫米 英寸 毫米 英寸 毫米
长度 17.00 431.80 25.50 640.08 23.28 591.30
直径 4.00 101.60 4.00 101.60 7.00 177.80
覆盖 (高度) 5.13 130.30 5.13 130.30 7.38 187.50
外界温度： 低于30°C
维护： 无
寿命： 3 到 5 年或更长
加热器选配： 可用于湿法处理尾气应用中
保修 ：1 年