使用470监测半导体湿式工作台中的溶解臭氧浓度
臭氧是一种多功能氧化剂，通常用于半导体湿式工作台的清洁，颗粒和光刻胶去除。在这些应用中使用臭氧有几个优点，包括:减少有害化学品的使用，如氢氟酸，更大限度地减少在上述过程中使用的典型化学废物，提高清洁和效率。随着半导体晶圆结构复杂性的增加，臭氧的使用将继续在这些晶圆的制造过程中发挥重要作用。为了充分发挥其潜在优势，重要的是能够测量过程中存在或注入的臭氧浓度。因此，需要在线臭氧浓度监测器来仔细控制液体中溶解臭氧的量。
Teledyne API (TAPI) 470溶解臭氧分析仪非常适合这一要求，因为它的设计考虑到了半导体市场的需求。
图1:470型溶解臭氧分析仪
直列式传感器
470的设计是一种直列式传感器，只需很少的维护，可以无缝集成到湿式工作台系统中。
在线监测溶解臭氧浓度是首选的测量方法，而不是滑动流或侧流监测。滑移流或侧流监测需要额外的阀门、管道和传感器，这些阀门、管道和传感器可能会在湿式实验台系统中故障或产生其他问题，例如接收到的浓度测量不能代表工艺液体。通过在线监测，您总能获得工艺液体中溶解臭氧浓度的真实测量值。监视器也可以很容易地拼接到现有系统中。由于湿式工作台臭氧包括工艺需要特定水平的臭氧，因此使用在线传感器非常重要。图2显示了带有臭氧发生器和监视器的半导体湿式工作台示例。
图2:带TAPI臭氧仪器的湿式实验台系统
零维护
由于其创新的传感技术，470不需要维护，以保持传感器运行在更佳性能。在湿式工作台系统的定期预防性维护期间，每2-3年可以对传感器和UV灯进行周期性调零。还包括吹扫端口，以避免电子设备所在区域内的冷凝，以帮助确保传感器在湿式工作台的寿命内运行。
轻松集成
为了集成到湿式工作台系统中，470提供了几种输出方法，可以直接连接到PLC, PC或集成设备。如果首选模拟输出，在购买时可以选择0-5V dc或4- 20ma输出。对于需要数字接口的系统，470可以通过RS232或RS485进行通信。470还可以连接到TAPI的SCI-552，以增强或创建完整的臭氧传输系统。四个额外的数字状态输出包括:传感器正常状态，无效读数，灯低和电池脏。
通过多种通信方式，更少的维护和在线设计，470是增强湿式工作台系统的完美选择，具有溶解臭氧的所有优点。请记住，臭氧可以帮助减少或省略有害化学物质的使用，节省处理和处理它们所需的时间和金钱。臭氧还可以增强湿法工艺，与硫酸或氢氟酸相比，臭氧对环境更友好。
